ديناميكية داخلية

تصنيف AMCs من قبل الرابطة الدولية لصناعة أشباه الموصلات (SEMI)

SEMI F21-1016 تصنيف مستويات الملوثات الجزيئية المحمولة جوا في البيئات النظيفة

مخاطر AMCs

1.  تشكيل فيلم غاز كيميائي على السطح  نظافة سطح السيليكون نظافة الركيزة الزجاجية سطح العدسة البصرية سطح معدني سطح بلاستيكي
2.  تغيير خصائص السطح الخصائص الكيميائية (مثل تآكل المعادن) الخصائص الكهربائية (على سبيل المثال ، زرع الأيونات) الخصائص الفيزيائية (على سبيل المثال ، تعديل السطح ، توليد الشحنة الساكنة) الخصائص البصرية (على سبيل المثال ، تغيرات مقاومة الضوء ، إنتاجية الطباعة الحجرية الضوئية) 
3.  تشكيل الجسيمات "الضباب" NH3 + SO2 → الملح  الغاز القلوي + الغاز الحمضي → الملح
4.  متطلبات البيئة والصحة والسلامة لبيئة غرف الأبحاث (المركبات العضوية المتطايرة والغازات الحمضية) الإضرار بصحة الموظفين ورفاهيتهم تطبيقات السلامة الكيميائية ومتطلبات مخاطر غرف الأبحاث ، مثل UL و FM ...